コグノスケ

クリーンルームの火災

2020年10月の旭化成の半導体工場、火災事故調査報告書が出ていた（報告書へのリンク）ので読んでみました。人に犠牲がなかったのは良かったなと思いますが、報告内容はなかなか衝撃的でした。

チタン除去装置部材の燃焼試験

各状況から火元の可能性が高い、とされた装置に対し、燃焼試験を行ったそうです。仕様上、筐体カバーは「難燃性ポリプロピレン」のはずが、難燃剤が検出されず、可燃性でした。仕様がウソなんて、そんなのありかよ……？という項目でした。全装置に燃焼試験なんてできませんし、もはや何を信じたら良いんだろう。

延焼の原因推定（クリーンルーム部材）

クリーンルームを構成する多くのプラ部材（パーテーション、HEPAフィルタなど）、半導体原料（アルコールなど）が可燃性で、延焼の原因と推定されています。
「装置一台の炎上から全棟延焼なんて、そんな設計ダメ！」
と言うのは簡単ですが、塩ビすら燃えていたようで、何の材質使えば良かったんだろ？って思いました。

延焼の原因推定（防火エリア）

通常火災に耐えうる家屋設計だっただろうし、防火エリアも設置されていたにも関わらず、防火エリアが耐えきれず全棟延焼ってのが衝撃的でした。

通常の部屋と違い、クリーンルームは強力なダウンフローがあるし、天井と床下で繋がってる点は特殊です。クリーンルーム火災なんてレアな事例、積み上げもなさそうです。火災まで視野に入れると、設計めっちゃ難しそうですね……。

メモ: 技術系？の話はFacebookから転記しておくことにした。